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美國Agilent TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵,采用 TwisTorr 拖動級技術(shù)和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動級技術(shù)能提高小分子氣體(如氫氣和氦氣)壓縮比,從而實現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級壓力,進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實惠、更小型的前級泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計,變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。
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